
1.회사개요
회사명:(주)에타맥스/대표이사:정현돈
주소:경기도 안산시 상록구 사동 1271 한양대학교 창업보육센터 423
설립년도:2008.08.20 /업종 :엘이디성능진단장비
종업원수:19명 /연락처 :031-400-3988
2.회사소개
에타맥스는 “광을 이용한 측정 기술 분야에서 최고가 되자”는 Mission을 가지고
2008년 설립되었습니다. 개발방향은 기존 존재하는 측정기술의 차별화를 통한
새로운 개념의 System을 개발하고자합니다. 현재 LED양산에 반드시 필요한
에피 웨이퍼상태에서 특성을 검사하는
Photo-Luminescence Mapping(Model : PLATO) System은
현재 세계시장 점유율 1위를 기록하고있습니다.
또 LED의 내부양자효율 측정장치등 몇몇 제품은 세계 유일하게 개발된 것으로
LED 선진사에서 성능 고도화를 위해 사용중입니다.
에타맥스는 구성원의 50%이상이 연구 개발인력으로 구성된
연구개발 중심의 회사입니다. 기존에확보된 기술을 바탕으로
적용 분야가 넓은 프로세스 감시용 In-Situ Monitoring System등으로
사업 분야를 확대해 가고 있습니다.
3.포상/인증현황
▶2010년: 기업부설연구소, 벤처기업, ISO9001, CE인증(PLATO), 경기중소기업인상
▶2011년: CE인증(PLATOM), 수출유망중소기업 선정, 경기도 유망중소기업 선정
제 48회 무역의 날-300만불 수출의 탑 수상
4.연구개발현황
▶특허 출원 5건, 실용신안 출원 2건,
▶제조기반산업원천기술개발사업 주관기관, 산업융합원천기술개발사업 참여
5.제품소개
▶PLATO

-Full automatic PL mapping system
General Spec. of PLATO
•Full automatic PL mapping : PL, Thickness
•A highly sensitive Photo detector is used in PL
intensity measurement to improve repeat performance
over time and from machine to machine
•Simultaneous measurement of PL and thickness
can save time
•Three different lasers can be installed
•2 in. ~ 8 in., up to 0.5mm step
•GEM/SECS compatible
•One Plato covers more than 10 MOCVDs
-Capacity : over 50,000pcs(2” with 2mm step)
•Powerful Susceptor Solution
-Engineers can draw any kind of Susceptor / Wafer
carrier by themselves
-All PL properties are shown on wafer loaded
pockets
Reliability Test System-Optical Power/I-V Measurement

•300 channels LED test available
•Optical Power & Temperature Real-time Monitoring
•Constant current Drive Source(0~1A Variable)
•LED I-V Test(Vf, Vr, If, Ir), I-V Sweep Test
•Remote operation via a network connection
•Measurement intervals, time, and electrical
characterization of the settings can be set free by recipe
•All measurement are displayed in real time
•Current progress and LED Status indication
▶LIF100
-LED reliability tester
▶DOSA-IQE
-Internal quantum efficiency measurement
A New IQE Measurement by EtaMax
•Just at room temperature measurement
•No fitted and calculated parameters
•Use only relative ratios of measurable physical quantities rather than their absolute
Theory of IQE Measurement
•Find the excitation condition, IL, n(ref) forflat energy band
•Measure Pref and calculateηint
•Measure P vs I and calculate η
values for minimizing errors


1.회사개요
회사명:(주)에타맥스/대표이사:정현돈
주소:경기도 안산시 상록구 사동 1271 한양대학교 창업보육센터 423
설립년도:2008.08.20 /업종 :엘이디성능진단장비
종업원수:19명 /연락처 :031-400-3988
2.회사소개
에타맥스는 “광을 이용한 측정 기술 분야에서 최고가 되자”는 Mission을 가지고
2008년 설립되었습니다. 개발방향은 기존 존재하는 측정기술의 차별화를 통한
새로운 개념의 System을 개발하고자합니다. 현재 LED양산에 반드시 필요한
에피 웨이퍼상태에서 특성을 검사하는
Photo-Luminescence Mapping(Model : PLATO) System은
현재 세계시장 점유율 1위를 기록하고있습니다.
또 LED의 내부양자효율 측정장치등 몇몇 제품은 세계 유일하게 개발된 것으로
LED 선진사에서 성능 고도화를 위해 사용중입니다.
에타맥스는 구성원의 50%이상이 연구 개발인력으로 구성된
연구개발 중심의 회사입니다. 기존에확보된 기술을 바탕으로
적용 분야가 넓은 프로세스 감시용 In-Situ Monitoring System등으로
사업 분야를 확대해 가고 있습니다.
3.포상/인증현황
▶2010년: 기업부설연구소, 벤처기업, ISO9001, CE인증(PLATO), 경기중소기업인상
▶2011년: CE인증(PLATOM), 수출유망중소기업 선정, 경기도 유망중소기업 선정
제 48회 무역의 날-300만불 수출의 탑 수상
4.연구개발현황
▶특허 출원 5건, 실용신안 출원 2건,
▶제조기반산업원천기술개발사업 주관기관, 산업융합원천기술개발사업 참여
5.제품소개
▶PLATO
-Full automatic PL mapping system
General Spec. of PLATO
•Full automatic PL mapping : PL, Thickness
•A highly sensitive Photo detector is used in PL
intensity measurement to improve repeat performance
over time and from machine to machine
•Simultaneous measurement of PL and thickness
can save time
•Three different lasers can be installed
•2 in. ~ 8 in., up to 0.5mm step
•GEM/SECS compatible
•One Plato covers more than 10 MOCVDs
-Capacity : over 50,000pcs(2” with 2mm step)
•Powerful Susceptor Solution
-Engineers can draw any kind of Susceptor / Wafer
carrier by themselves
-All PL properties are shown on wafer loaded
pockets
Reliability Test System-Optical Power/I-V Measurement
•300 channels LED test available
•Optical Power & Temperature Real-time Monitoring
•Constant current Drive Source(0~1A Variable)
•LED I-V Test(Vf, Vr, If, Ir), I-V Sweep Test
•Remote operation via a network connection
•Measurement intervals, time, and electrical
characterization of the settings can be set free by recipe
•All measurement are displayed in real time
•Current progress and LED Status indication
▶LIF100
-LED reliability tester
▶DOSA-IQE
-Internal quantum efficiency measurement
A New IQE Measurement by EtaMax
•Just at room temperature measurement
•No fitted and calculated parameters
•Use only relative ratios of measurable physical quantities rather than their absolute
Theory of IQE Measurement
•Find the excitation condition, IL, n(ref) forflat energy band
•Measure Pref and calculateηint
•Measure P vs I and calculate η
values for minimizing errors